

等离子喷涂氧化钇粉
振中的高纯氧化钇(99.9%)是一种团聚烧结的高纯Y2O3粉末,该粉体在极其严格的质量控制下生产,采用了振中独特的分级技术和热处理技术,颗粒尺寸和颗粒强度都被严格控制在理想状态,确保粉体具备高的纯度,涂层白度高,无论在模具钢还是铝合金上都可以实现较高的沉积效率,涂层硬度平均超过600HV,在模具钢上最低的涂层孔隙率可以控制到0.4%以下。
关键词:
等离子喷涂氧化钇粉
分类:
- 产品描述
-
化学成分(%)
化学成份(ppm)
Y2O3
Fe
Na
Mg
Al
Si
K
Ca
>99.9%
10
<1
<2
<1
<10
<20
8
物理性能参数
形貌
颜色
密度
团聚烧结球形粉
白色
1.1-1.5 g/cm3
产品粒度
粒度(μm)
-63+22
-45+15
-28+10
可定制
主要应用
高纯氧化钇喷涂粉主要应用于:半导体晶圆蚀刻机腔室及其零部件表面的陶瓷熔射(等离子喷涂)涂层修复、TFT液晶面板蚀刻设备陶瓷熔射涂层处理。以蚀刻机为例需要熔射处理的主要部件如下:蚀刻机内腔室壁、 静电吸盘、聚焦环、气体注入器、室衬垫、基板支撑件、介电窗、环状构件、夹紧装置、匀气盘,晶圆罩环等。
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