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等离子喷涂氧化钇粉

振中的高纯氧化钇(99.9%)是一种团聚烧结的高纯Y2O3粉末,该粉体在极其严格的质量控制下生产,采用了振中独特的分级技术和热处理技术,颗粒尺寸和颗粒强度都被严格控制在理想状态,确保粉体具备高的纯度,涂层白度高,无论在模具钢还是铝合金上都可以实现较高的沉积效率,涂层硬度平均超过600HV,在模具钢上最低的涂层孔隙率可以控制到0.4%以下。

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关键词:

等离子喷涂氧化钇粉

分类:

  • 产品描述
  • 化学成分(%)

    化学成份(ppm)

    Y2O3

    Fe

    Na

    Mg

    Al

    Si

    K

    Ca

    >99.9%

    10

    <1

    <2

    <1

    <10

    <20

    8

    物理性能参数

    形貌

    颜色

    密度

    团聚烧结球形粉

    白色

    1.1-1.5 g/cm3

    产品粒度

    粒度(μm)

    -63+22

    -45+15

    -28+10

    可定制

    主要应用

    高纯氧化钇喷涂粉主要应用于:半导体晶圆蚀刻机腔室及其零部件表面的陶瓷熔射(等离子喷涂)涂层修复、TFT液晶面板蚀刻设备陶瓷熔射涂层处理。以蚀刻机为例需要熔射处理的主要部件如下:蚀刻机内腔室壁、 静电吸盘、聚焦环、气体注入器、室衬垫、基板支撑件、介电窗、环状构件、夹紧装置、匀气盘,晶圆罩环等。

     


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